반도체 장비용 통신 프로토콜인 SECS 프로토콜에 대하여

 

반도체 장비용 통신프로토콜

 

반도체 장비들은 장비간에 서로 통신을 해야 할 일이 많다. 하지만 장비와 외부 컴퓨터간의 인터페이스가 

각각 다르다면, 너무 혼란스러울것 같지 않은가??????

 

이 때문에 1970년 후반 휴렛패커드가 자체 내에서 사용할 통신 표준을 정의하였고 점점 발전하여

지금의 SECS가 존재하게 되었다. 그럼 SECS에 대하여 알아보자.

 

 

 

[ SECS ] 

다양한 반도체 장비의 통신을 표준화하여 전체적인 효율을 추구하기 위해 만든 표준 

 

반도체 장비 통신 프로토콜 SECS ( SEMI Equipment Communication Standard)은

SEC-I / SEC-II 로 나누어 진다.

 

SEC-I : 메세지 전송 표준

SEC-II  메세지 내용 표준

 

SECS 프로토콜은 그림1과 같은 계층구조를 갖는다.

 

 

그림 1. SECS 프로토콜 계층

 

 

 

 

 

SECS - I 

 

제조 공정 내부의 장비 PC간 통신 프로토콜을 정의하며, 메세지 전송 부분이라고 불려진다.

각 계층마다 메세지 전송에 따른 특징들을 처리 하고, SECS-II에 정의된 메세지 내용을 전송한다.

RS-232 사용

 

 

 

 

 

 

SECS - II

 

간단히 말하자면, 장비와 대화를 하기 위해 어떤 메세지를 정의하는 것.

내용적인 부분을 다루며, 메세지 형식을 정의하고, 장비와 호스트간에 대화를 통해 통신을 한다.

 

STREAM + FUNCTION에 의해 모든 메세지를 구분 할 수 있다.

 

[ STREAM ]

: 포괄적인 동작 방식, 비슷한 기능을 하거나 서로 관련되는 메세지 범주

 

[ FUNCTION ]

: STREAM 내에서의 세부적인 동작 방식, 1차 전송 메세지의 Function 번호는 항상 홀수 번호이고, 이에 대한 응답인 2차 메세지의 Function은 1이 더해진 짝수 번호가 된다.

 

 

 

 

• Stream 1 : Equipment Status

• Stream 2 : Equipment Control and Diagnostics

• Stream 3 : Material Status

• Stream 4 : Material Control

• Stream 5 : Exception Reporting(Equipment alarms) ( 알람 또는 에러에 관한 것 )

• Stream 6 : Data Collection ( 모니터링에 관한 것 )

• Stream 7 : Process Program Management ( 레시피에 관한 것 )

• Stream 8 : Control Program Transfer

• Stream 9 : System Errors ( 수신된 메시지가 에러임을 호스트에게 알려줌 )

• Stream 10 : Terminal Services( 장비 터미널에 텍스트 메시지를 전달함 )

• Stream 11 : Removed from the 1989 standard

• Stream 12 : Wafer Mapping

• Stream 13 : Unformatted Data Set Transfers

 

 

그림 2. SECS 프로토콜 블록 및 텍스트 형식

 

 

 

SECS 프로토콜은 대용량의 데이터를 처리하기 위한 프로토콜이 아니기 때문에 물리적인 커넥터로 RS-232를 사용한다.

만약 대용량 데이터나 고속의 처리 속도를 요구하는 경우 HSMS 프로토콜을 사용한다.

 

 

 

[ HSMS ]

: TCP/IP 환경을 이용하여 컴퓨터 간 통신을 가능하게 만드는 통신 인터페이스

 

[ GEM ] 

: 공급자, 제조업자들의 경제적인 이득을 위해 도입, 제조 공정을 자동화 할 수 있는 프로그램을 지원하기 위해 사전에 정의된 일련의 시퀀스 대로 프로그램이 동작 하도록 구현하는 것.

 

 

앞서 소개한 표준 프로토콜들을 사용함으로서 장비의 추가적인 비용 감소,

생산성 향상의 이점을 얻을 수 있다.